Thiết bị SSD đầu tiên sử dụng sắt từ được tạo ra vào thời kỳ máy tính còn sử dụng ống chân không. Tuy nhiên với sự xuất hiện của ở lưu trữ dạng trống, nó bị ngừng sử dụng. Sau đó, vào những năm 70-80 của thế kỷ 20, ổ SSD tiếp tục được phát triển bởi IBM, Amdahl và Cray. Nhưng do giá thành quá cao, nó không thể thương mại hóa rộng rãi được.

Vào năm 1978, Storage Tek đã phát triển thành công một mẫu SSD đầu tiên. Giữa những năm 1980, Santa Clara Systems giới thiệu BatRam, một kết hợp của các chip DIPRAM kèm theo một card điều khiển mô phỏng ổ cứng. Ngoài ra, BatRam còn kèm theo một pin hỗ trợ sạc nhiều lần để đảm bảo lưu trữ dữ liệu khi tắt nguồn. Phiên bản Sharp PC-5000, được giới thiệu năm 1983, sử dụng một ổ lưu trữ SSD 128Kb.

Năm 1996, M-system (được SanDisk mua lại năm 2006) giới thiệu một ổ SSD dựa trên công nghệ bộ nhớ flash. Kể từ thời điểm này, SSD được sử dụng như một lựa chọn thay thế cho HDD truyền thống trong các ngành công nghiệp hàng không vũ trụ, quân sự và những ngành nghiên cứu quan trọng khác. Những ứng dụng trong các ngành này đòi hỏi một thiết bị có khả năng lưu trữ bền vững ít lỗi vốn có trong thiết bị SSD.

SSD bắt đầu được sử dụng trong laptop mặc dù cho đến năm 2009, chi phí trên đơn vị lưu trữ của SSD vẫn đắt hơn HDD nhiều lần (580$ cho một ổ SSD 256GB, so với 50$ cho một ổ HDD sử dụng khe USB cắm ngoài có cùng dung lượng).

Tháng 3 năm 2009, Texas Memory System tuyên bố sử dụng hệ thống ổ SSD có dung lượng lớn nhất đạt tới 5TB có tên gọi RamSan-620 cho hệ thống lưu trữ dạng rack. Nó có khả năng đáp ứng tốc độ truy cập 3Gb/s và đáp ứng với tốc độ 250.000 thao tác đọc/ghi dữ liệu/giây (IOPS).

Tháng 5 năm 2009, Photofast giới thiệu ổ SSD G-Monster-PROMISE PCIe với dung lượng tùy chọn từ 128Gb đến 1TB, hỗ trợ tốc độ đọc ghi 1000MB/s.

Tháng 3 năm 2018, Nimbus Data giới thiệu mẫu SSD có dung lượng lên tới 100TB, dùng công nghệ 3D NAND với tốc độ đọc/ghi là 500MB/s